램리서치코리아가 10월 27일부터 30일까지 나흘 동안 서울 삼성동 코엑스에서 열리는 제22회 반도체 대전(SEDEX 2020)에 참가한다. 이번 전시회에서 램리서치는 반도체 산업에서의 40년 혁신의 역사와 사회공헌활동, 한국 반도체 산업 생태계 발전을 위해 지속적으로 노력해 온 활동을 소개한다.
램리서치는 올해 EUV 노광 공정에서 회로 선폭 미세화의 열쇠를 쥔 해상력(解像力, resolution)을 높여 수율과 생산성을 크게 높이는 건식 레지스트 신기술을 ASML 및 imec과 공동으로 개발한 것을 비롯해, 업계 최고의 산출량과 혁신적인 센서기술 구현으로 탁월한 생산성을 제공하는 식각 공정 반도체 장비인 센스아이(Sense.i™) 플랫폼, 반도체 제조 시 3D NAND, DRAM, 로직 칩 제조사의 문제를 해결하는 동종 최초의 혁신적인 ICEFill™ 기술이 탑재된 첨단 원자층 증착 플랫폼 Striker® FE를 연이어서 발표한 바 있다.
지난 7월에는 램리서치매뉴팩춰링코리아가 국내 6개 협력사와 생산성을 높이고 수율을 확대하기 위한 상생 협력 협약을 체결하면서 국내 반도체 산업 생태계의 선순환 성장을 위한 램리서치의 노력을 재확인시켜 주기도 했다.
램리서치의 글로벌 생산기지로 경기도 오산에 위치한 램리서치매뉴팩춰링코리아는 2019년 5월에 국내 생산 5000호기를 출하한 데 이어 올해 6월에는 6000호기 생산을 달성하면서, 국내 생산장비 출하량을 지속해서 늘리고 있다. 램리서치는 이번 SEDEX 2020에서 국내에서 생산되는 반도체 모듈 중 하나인 코로너스(Coronus®) 플라즈마 베벨 클린 모듈을 전시해 소개할 예정이다.
이와 함께 램리서치는 10월 29일, 한국반도체산업협회가 주최하는 제15회 반도체 장학증서 수여식에 참석해 반도체 전공 학생 두 명에게 램리서치 장학 증서를 수여한다. 램리서치는 2007년부터 반도체 산업 분야의 우수 인재를 발굴하고 육성하기 위해 한국반도체산업협회의 장학 사업에 꾸준히 참여해 왔으며, 이러한 공로를 인정받아 이날 반도체산업협회로부터 장학사업 특별 감사패를 수상한다.
램리서치코리아 김성호 대표이사는 "램리서치는 1980년 설립된 이후 지난 40년간 혁신적인 웨이퍼 제조 솔루션을 통해 세계 일류 반도체 기업들의 신뢰 받는 파트너로서 실리콘 로드맵의 견인차 역할을 해왔다. 또한, 램리서치의 혁신적인 웨이퍼 제조 장비 및 서비스로 반도체 제조 기업들이 더 작고 빠르며, 더 우수한 성능의 전자소자 개발을 가능하게 했다"고 말했다. 또한, "램리서치는 반도체 장비 제조의 현지화 및 로컬 소싱을 통한 반도체 장비 및 부품 국산화, 국내로의 연구개발(R&D) 역량을 확장해 더 가까운 곳에서 더 빠르게 고객을 지원하며 한국 반도체 산업 생태계의 성장과 발전을 위해 지속해서 노력할 것"이라고 말했다.
글 / 김영국 기자 kyg@hkrecruit.co.kr
